特許
J-GLOBAL ID:200903004177366103

露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-138307
公開番号(公開出願番号):特開2005-321505
出願日: 2004年05月07日
公開日(公表日): 2005年11月17日
要約:
【課題】 継ぎ目の無い画像を露光することのできる露光装置を提供すること。【解決手段】 図5(A)に示すように2列で露光する場合には、露光用コンピュータ68は、第1ライン露光器64の光ビームLの振り角と、第2ライン露光器66の光ビームLの振り角とを同じに設定する。このとき、第1ライン露光器64、及び第2ライン露光器66共に、露光用コンピュータ68から入力する画像信号は同じもので良い。また、図5(B)に示すように3列で露光する場合には、露光用コンピュータ68は、第1ライン露光器64のLの振り角を、第2ライン露光器66の光ビームLの振り角4よりも大きくし、第1ライン露光器64は2列分の露光を行い、第2ライン露光器66は1列分の露光を行うようにする。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
長尺状の感光材料を長手方向に搬送する搬送手段と、 前記感光材料の搬送経路の幅方向に沿って配置され、画像データに基づいて前記感光材料の幅方向にライン状に光ビームを照射するように走査露光を行う複数のライン露光器と、 前記複数のライン露光器を制御する制御装置と、 を備え、 前記感光材料の幅方向に複数個の画像を露光する際に、前記ライン露光器が整数個の画像を露光するように前記制御手段は前記ライン露光器を制御する、ことを特徴とする露光装置。
IPC (1件):
G03F7/20
FI (1件):
G03F7/20 505
Fターム (9件):
2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA06 ,  2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA17 ,  2H097DB12 ,  2H097JA03 ,  2H097LA09
引用特許:
審査官引用 (6件)
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