特許
J-GLOBAL ID：200903097567121630

搬送装置、塗布システム、及び検査システム

発明者：
冨田 良幸

冨田 良幸 について

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小林 雄二

小林 雄二 について

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小梁川 靖

小梁川 靖 について

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光永 陽介

光永 陽介 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  黒木 義樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-421506
公開番号（公開出願番号）：特開2005-132626
出願日： 2003年12月18日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】搬送に必要な推力の低減を図り、且つ被搬送物のたわみを抑制することが可能な搬送装置、これを備える塗布システム及び検査システムを提供する。【解決手段】搬送装置12は、被搬送物の搬送方向Xに延びる主面16aを有するベース16と、搬送方向Xに延びるガイド部材18と、ガイド部材18にガイドされて搬送方向Xに移動可能な移動部材20と、移動部材20に固定され主面16aから間隙を於いて被搬送物28を保持する保持部材24と、ベース16上の搬送方向Xにおける一部領域において、搬送方向Xに搬送される被搬送物に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構26と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被搬送物の搬送方向に延びる主面を有するベースと、 前記搬送方向に延びるガイド部材と、 前記ガイド部材にガイドされて前記搬送方向に移動可能な移動部材と、 前記移動部材に固定され前記主面から間隙を於いて前記被搬送物を保持する保持部材と、 前記ベース上の前記搬送方向における一部領域において、該搬送方向に搬送される前記被搬送物に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構と、 を備えることを特徴とする搬送装置。
IPC (6件)：
B65G49/06 ,  B05C13/02 ,  B05D3/00 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68
FI (7件)：
B65G49/06 A ,  B05C13/02 ,  B05D3/00 C ,  G03F7/16 501 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 P ,  H01L21/30 562
Fターム (50件)：
2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4D075AC73 ,  4D075AC82 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042DF09 ,  4F042DF11 ,  4F042DF15 ,  4F042DF29 ,  4F042DF32 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA60 ,  5F031HA09 ,  5F031HA13 ,  5F031HA48 ,  5F031HA50 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA37 ,  5F031KA10 ,  5F031KA15 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031LA10 ,  5F031MA13 ,  5F031MA26 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14 ,  5F031PA20 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046JA27 ,  5F046KA10 ,  5F046LA19
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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