特許
J-GLOBAL ID：200903004182279570

走査型電子顕微鏡

発明者：
小室 修

小室 修 について

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山口 聡

山口 聡 について

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藤田 久美

藤田 久美 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082259
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【目的】 パターン認識機能を搭載した走査型電子顕微鏡において、測定条件ファイルの相互利用を行ったとき、測定条件ファイルを作成した装置以外でも高いパターン認識率を得られる走査型電子顕微鏡を提供する。【構成】 走査型電子顕微鏡の記憶媒体30内に、パターン認識のための参照画像を複数登録可能とする。また、測定条件ファイル内に参照画像を登録し、さらに、インデックスを付加する。インデックスは、装置に付属する記憶媒体30内の参照画像を指し示す。測定条件ファイル内の参照画像とインデックスが指し示す参照画像を、設定された条件に従い一方もしくは両方を用いてパターン認識を実行する。
請求項（抜粋）：
XYステージ上に載置された被測定物の表面形状を2次元画像として表示する手段と、予め用意された参照画像を用いて前記2次元画像の中で参照画像と一致するパターンを認識するパターン認識手段と、認識したパターンの位置から指定されたオフセットだけ離れた位置のパターン寸法を測定する手段と、記憶手段と、予め用意されている測定条件ファイルの内容に従って自動運転を行う制御手段とを備える走査型電子顕微鏡において、前記記憶手段に複数の参照画像が登録され、前記測定条件ファイルは参照画像及び前記記憶手段に登録された複数の参照画像の中の特定の参照画像を指定するためのインデックスを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28
FI (2件)：
H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/28 Z
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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