特許
J-GLOBAL ID：200903004191492820

切換弁装置

発明者：
玉木 茂男

玉木 茂男 について

, 
梅田 浩輔

梅田 浩輔 について


出願人/特許権者：
黒田精工株式会社

黒田精工株式会社 について


代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-125559
公開番号（公開出願番号）：特開2003-311671
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月05日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、半導体チップ等の部材の真空吸着に使用される切換弁装置に関し、真空破壊を迅速かつスムーズに行うことを目的とする。【解決手段】 真空吸着用の真空吸着用切換弁機能と、真空破壊用の真空破壊用切換弁機能と、前記真空吸着用切換弁機能の動作に連動して、前記真空吸着用切換弁機能がオフの時に大気側への通路を開放し、オンの時に大気側への通路を閉止する大気開放用切換弁機能とを備え、前記真空吸着用切換弁機能、前記真空破壊用切換弁機能および前記大気開放用切換弁機能を、本体部に一体的に組み込んでなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空吸着用の真空吸着用切換弁機能と、真空破壊用の真空破壊用切換弁機能と、前記真空吸着用切換弁機能の動作に連動して、前記真空吸着用切換弁機能がオフの時に大気側への通路を開放し、オンの時に大気側への通路を閉止する大気開放用切換弁機能とを備え、前記真空吸着用切換弁機能、前記真空破壊用切換弁機能および前記大気開放用切換弁機能を、本体部に一体的に組み込んでなることを特徴とする切換弁装置。
IPC (5件)：
B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/50 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
B25J 15/06 B ,  B65G 49/06 A ,  H01L 21/50 C ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/68 B
Fターム (13件)：
3C007AS01 ,  3C007AS08 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FS03 ,  3C007FU08 ,  5F031CA13 ,  5F031FA05 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA23 ,  5F047FA08
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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