特許
J-GLOBAL ID：200903004206465795

精密研磨用の研磨布及びその製造方法

発明者：
吉田 徳一

吉田 徳一 について

, 
中川 浩司

中川 浩司 について


出願人/特許権者：
株式会社FILWEL

株式会社FILWEL について


代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-159976
公開番号（公開出願番号）：特開2005-335028
出願日： 2004年05月28日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】研磨液の能力を十分に引き出すことができ、良好な精密研磨を行うことができる精密研磨用の研磨布及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明にかかる精密研磨用の研磨布11は、その表面に存在する開口した孔12の内、直径が0.1〜10μmの口径dの孔が90%以上であるものである。この研磨布は、基体13の上に連続した多孔質の発泡層14を形成してなるものであり、その表層部15は緻密な気泡からなっている。また、その緻密な気泡からなる表層部15の極僅かな部分をダイヤモンドドレスにより研磨することで、直径が0.1〜10μmの口径dの孔が90%以上の微細な孔12を表面に形成してなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被研磨物を精密研磨する精密研磨用の研磨布であって、 表面に存在する開口した孔の内、直径が0.1〜10μmの口径を有する孔が90%以上であることを特徴とする精密研磨用の研磨布。
IPC (2件)：
B24B37/00 ,  H01L21/304
FI (2件)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • スエード様研磨布
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-158616   出願人：鐘紡株式会社
  • 研磨パッド用ドレッサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-311296   出願人：鋼鈑工業株式会社, 株式会社アライドマテリアル
審査官引用 (2件)

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