回折型光学素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224936
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068807
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】任意の断面形状を有する回折型光学素子を形成する。【解決手段】 1本のシングルモードのレーザビームを2つに分け、その光を再びガラス薄膜上で焦点を結ばせるようにし、その干渉により強度が周期的に変化するパターンを形成して照射し、一方、基材の配置角度は、干渉縞を形成する2本のレーザ光の平均光軸と直交する面に対して傾斜させて配置する。

請求項（抜粋）：

表面に形成される連続する複数の凸部の断面形状が、左右非対称な曲線形状、左右非対称な台形形状、鋸歯状またはブレーズ付き形状の回折型光学素子の製造方法において、この製造方法は、複数本のレーザ光の干渉による干渉縞の強度分布を利用して基材を蒸発あるいはアブレーションさせてレーザ光の強度に応じて基材表面を除去するにあたり、干渉縞を形成する複数のレーザ光の平均光軸と直交する面に対して基材表面を傾斜させるようにしたことを特徴とする回折型光学素子の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/18 , C03C 3/04 , C03C 4/00

FI (3件)：

G02B 5/18 , C03C 3/04 , C03C 4/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-213599
特開昭63-271265
屈折率変調パターンの作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-071766 出願人：株式会社クラレ

全件表示

前のページに戻る