特許
J-GLOBAL ID：200903004323694061

高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者：
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-123892
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312059
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】次世代のLSI製造プロセスにも対応できる解像度の優れた感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は、-OR4、-NHR4、-O-N+R4R5R6R7、ただし、R4は少なくとも1種のエチレン性不飽和結合を有する基、R5、R6、R7は、水素、または、炭素数1から10までの炭化水素基を表す。nは1または2である。)(b)増感剤を含有するコントラスト比1100以上2000以下であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基R3-OR4、-NHR4、-O-N+R4R5R6R7、ただしR4は少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する基、R5、R6、R7は水素、または炭素数1から10までの炭化水素基を表す。nは1または2である。)(b)増感剤を含有するコントラスト比1100以上2000以下であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/075 511
FI (3件)：
G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/075 511
引用特許：
審査官引用 (6件)
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