特許
J-GLOBAL ID：200903004332055292
バイオセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-101309
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296229
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】しきい値バラツキによるセンサ感度バラツキを調整可能な半導体電界効果型バイオセンサを提供する。【解決手段】基板上に形成されたTFTを用いた半導体電界効果型のバイオセンサにおいて、前記TFTはチャネル領域の上部にゲート絶縁膜18を介してイオン感応領域19を有し、且つ、前記チャネル領域の下層に絶縁膜13を介してバックゲート12を有する構成となっている。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されたTFTを用いた半導体電界効果型のバイオセンサにおいて、前記TFTはチャネル領域の上部にゲート絶縁膜を介してイオン感応領域を有し、且つ、前記チャネル領域の下層に絶縁膜を介してバックゲートを有することを特徴とするバイオセンサ。
FI (2件)：
G01N 27/30 301 K
, G01N 27/30 301 U
