特許
J-GLOBAL ID：200903004359584483

基板の固定装置及び固定方法

発明者：
田頭 史明

田頭 史明 について


出願人/特許権者：
TOWA株式会社

TOWA株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145678
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340787
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：
【要約】【課題】 複数のチップが樹脂封止された封止済基板を切断する際に、封止済基板の反りを矯正しながら保持用治具に固定する、基板の固定装置を提供する。【解決手段】 基板の固定装置に、四辺形のテーブル10と、封止済基板1の保持用治具であるプラットホーム9と、吸引口13と、吸引口13によりプラットホーム9に吸着・保持された封止済基板1の端部を押圧する押さえ部材22とを備える。押さえ部材22は、スライドレール20と摺動部材21とによって、昇降自在であり、テーブル10に向かって進退自在であり、かつ、テーブル10の各辺に沿って移動自在に設けられている。押さえ部材22は、スライドレール20に沿って移動して、ダイシングライン4のうち切断したい部分を避けて、反っている封止済基板1を押圧する。これにより、封止済基板1の反りが矯正され、この状態でブレード19によりダイシングライン4において封止済基板1を切断する。
請求項（抜粋）：
電子部品の製造において使用される基板に対して処理が行われる際に、前記基板の反りを矯正しながら保持用治具に対して前記基板を固定する基板の固定装置であって、前記保持用治具に設けられ前記基板を保持する保持手段と、前記保持された基板の端部を押圧することにより前記基板を固定する押圧手段とを備えたことを特徴とする基板の固定装置。
IPC (4件)：
B26D 7/08 ,  B26D 7/06 ,  H01L 21/68 ,  B24B 27/06
FI (4件)：
B26D 7/08 D ,  B26D 7/06 E ,  H01L 21/68 N ,  B24B 27/06 J
Fターム (17件)：
3C058AA03 ,  3C058AB04 ,  3C058AB09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031CA13 ,  5F031CA17 ,  5F031DA05 ,  5F031HA14 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031MA33 ,  5F031MA34 ,  5F031PA14
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)

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