特許
J-GLOBAL ID：200903004404820649

複合チタン酸化物膜素子ユニットおよびその製造方法

発明者：
橋本 和生

橋本 和生 について

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橋本 智仙

橋本 智仙 について

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土江 隆則

土江 隆則 について


出願人/特許権者：
宇部興産株式会社

宇部興産株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279537
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109398
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：
【要約】【課題】安価で容易に基板上の所定の領域に微細なパターンで複合チタン酸化物膜を形成した複合チタン酸化物薄膜素子ユニットとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも表面の主成分がNi-P(ニッケルリン)である基板と、この基板の所定の領域にチタンあるいはチタンを含む材料の膜を形成し、このチタンあるいはチタンを含む材料の膜の表面にのみ選択的に、水熱法によって複合チタン酸化物層を形成することを特徴とする複合チタン酸化物膜素子ユニットおよびその製造方法。また、チタンを含む基板上の所定の領域にNi-Pの保護膜を形成し、水熱反応で保護膜のない部分にのみ複合チタン酸化物膜を形成することを特徴とする複合チタン酸化物素子ユニットおよびその製造方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面の主成分がNi-P(ニッケルリン)である基板と、この基板の所定の領域にチタンあるいはチタンを含む材料の膜を形成し、このチタンあるいはチタンを含む材料の膜の表面に選択的に、水熱法によって形成した複合チタン酸化物層を備えることを特徴とする複合チタン酸化物膜素子ユニット。
IPC (7件)：
C30B 29/32 ,  C23C 28/00 ,  C23C 28/04 ,  H01G 4/10 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24
FI (7件)：
C30B 29/32 A ,  C23C 28/00 B ,  C23C 28/04 ,  H01G 4/10 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A
Fターム (26件)：
4G077AA03 ,  4G077BC42 ,  4G077CB03 ,  4G077ED06 ,  4G077EE06 ,  4G077EF01 ,  4G077HA11 ,  4G077KA15 ,  4K044AB05 ,  4K044BA02 ,  4K044BA06 ,  4K044BA12 ,  4K044BA19 ,  4K044BB04 ,  4K044BB10 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13 ,  4K044CA15 ,  4K044CA62 ,  5E082AB03 ,  5E082BC40 ,  5E082FG03 ,  5E082FG26 ,  5E082FG27 ,  5E082FG41 ,  5E082KK01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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