特許

J-GLOBAL ID：200903015705182402

振動アクチュエータ

発明者： 村松 研一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272263
公開番号（公開出願番号）：特開平10-127069
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 従来の超音波アクチュエータでは、圧電体と弾性体との間に接着層が不可避的に存在するため、縦振動,屈曲振動それぞれの固有振動数がずれてしまい、得られる駆動効率が、設計段階で設定した目標駆動効率を下回ってしまう。【解決手段】 弾性体2と,弾性体2に接合されて縦振動及び屈曲振動を調和的に発生させる圧電体4とを備える振動アクチュエータ1であって、圧電体4は水熱合成法によって形成される。

請求項（抜粋）：

弾性体と,前記弾性体に接合されて縦振動及び屈曲振動を調和的に発生させる電気機械変換素子とを備える振動アクチュエータであって、前記電気機械変換素子は、前記弾性体に水熱合成法によって形成されることを特徴とする振動アクチュエータ。

IPC (6件)：

H02N 2/00 ,  C01G 25/00 ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24

FI (6件)：

H02N 2/00 C ,  C01G 25/00 ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-022420   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• インクジェットプリンタ用印字ヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-262817   出願人：三田工業株式会社
• 圧電モータ用振動体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-098333   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 特開昭63-316677