特許
J-GLOBAL ID：200903004433187793
多価フェノール系化合物およびその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-138522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-316016
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 感光剤またはその前駆体として有用な化合物を提供し、それを用いて諸性能のバランスがとれたポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(I)で示される多価フェノール系化合物。R1 とR2 の一方は-OQ3 、R3 とR4 の一方は水素であり、R1 とR2 の他方、R3 とR4 の他方ならびにR5 は各々、水素、アルキル、シクロアルキル、アルケニル、アルコキシまたはハロゲンであるが、それらがすべて水素であることはなく、Q1 〜Q3 は各々、水素または1,2-ナフトキノンジアジド-4-もしくは-5-スルホニルである。Q1 〜Q3 がすべて水素であるトリヒドロキシ化合物をキノンジアジドスルホン酸エステル化することにより、Q1 〜Q3 の少なくとも一つが上記スルホニルであるエステルが得られ、これをノボラック樹脂と混合して、諸性能に優れたポジ型レジスト組成物が得られる。
請求項（抜粋）：
式(I)(式中、R1 およびR2 の一方は-OQ3 を表し;R3 およびR4 の一方は水素を表し;R1 およびR2 の他方、R3 およびR4 の他方ならびにR5 のうち一つは、炭素数6以下のアルキル、炭素数6以下のシクロアルキル、炭素数6以下のアルケニル、炭素数6以下のアルコキシまたはハロゲンを表し、残りは互いに独立に、水素、炭素数6以下のアルキル、炭素数6以下のシクロアルキル、炭素数6以下のアルケニル、炭素数6以下のアルコキシまたはハロゲンを表し;Q1 、Q2 およびQ3 は互いに独立に、水素または1,2-ナフトキノンジアジド-4-もしくは-5-スルホニルを表す)で示される多価フェノール系化合物。
IPC (5件)：
C07C 39/16
, C07C309/71
, C07C309/76
, C09D 5/32 PPB
, G03F 7/022
C07C 39/16
, C07C309/71
, C07C309/76
, C09D 5/32 PPB
, G03F 7/022
