特許
J-GLOBAL ID：200903004454656920
形状創成装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179474
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025583
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】加工中のプラズマ状態を安定させることができ、高精度かつ高加工速度で物品の形状を加工することの可能な形状創成装置を提供する。【解決手段】被加工物を支持する支持手段14と、プラズマを生成するため加工電極15と、反応ガス供給手段23、24とを有する形状創成装置に、加工電極に電力を効率よく供給するための整合手段として、共振器1を備える。共振器1には、少なくとも2つの電気定数を可変にするために、少なくとも2つの可動部26、27を配置する。
請求項（抜粋）：
被加工物を支持する支持手段と、プラズマを生成するため加工電極と、少なくとも前記被加工物と前記加工電極とが対向する空間に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、インピーダンスを整合させて前記加工電極に電力を供給するための整合手段とを有し、前記整合手段は、共振器を有し、前記共振器には、少なくとも2つの電気定数を可変にするために、少なくとも2つの可動部が配置されていることを特徴とする形状創成装置。
IPC (5件)：
C23F 4/00
, B23K 10/00 501
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
, C03B 23/00
C23F 4/00 A
, B23K 10/00 501 Z
, H05H 1/46 A
, C03B 23/00
, H01L 21/302 A
