特許
J-GLOBAL ID：200903004463598690
干渉測定装置及び干渉測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
, 増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-048883
公開番号（公開出願番号）：特開2008-209365
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】レンズの平面部の干渉縞とレンズ本体の干渉縞とを分離し、レンズ本体の透過波面測定における誤差を小さくする。【解決手段】レンズ本体と平面部16とを有するレンズの透過波面を測定する干渉測定装置1は、レンズの設計波長と同一の波長を有する検査光B1を発生する第1光源2と、検査光B1と異なる波長を有するアライメント光B2を発生する第2光源3と、検査光B1及びアライメント光B2を、参照光と被検光とに分割するメインビームスプリッタ4と、被検光を反射する球面ミラー6と、球面ミラー6とメインビームスプリッタ4との間に設けられた補正板17と、レンズが設置される載物台14と、参照光を反射する平面ミラー5とを備え、検査光B1の可干渉距離は、レンズの設計パラメータを含む光学的パラメータに基づいて決定される設計光路差より短く、アライメント光B2の可干渉距離は設計光路差以上の長さである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レンズ本体と前記レンズ本体の周辺部に設けられた平面部とを有するレンズの透過波面を測定する干渉測定装置であって、
前記レンズの設計波長と同一の波長を有する検査光を射出する第1光源と、
前記検査光と異なる波長を有するアライメント光を射出する第2光源と、
前記検査光又は前記アライメント光を、参照光と被検光とにそれぞれ分割する第1反射面を有するビームスプリッタと、
前記被検光を反射する第2反射面を有する球面ミラーと、
前記球面ミラーと前記ビームスプリッタとの間に設けられた補正板と、
前記補正板と前記ビームスプリッタとの間に設けられ、前記レンズが設置される載物台と、
前記参照光を反射する第3反射面を有する平面ミラーと、
を備え、
前記球面ミラーと前記平面ミラーとは、前記被検光の光軸と前記参照光の光軸とが直交し、かつ前記第2反射面と前記第1反射面との間の光学的距離と、前記第3反射面と前記第1反射面との間の光学的距離とが同一となるように配置されており、
前記検査光の可干渉距離は、前記レンズの設計パラメータを含む光学的パラメータに基づいて決定される設計光路差より短く設定されており、前記アライメント光の可干渉距離は、前記設計光路差以上の長さに設定されていることを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2F064AA00
, 2F064BB04
, 2F064CC02
, 2F064CC03
, 2F064EE01
, 2F064FF02
, 2F064GG12
, 2F064GG20
, 2F064GG22
, 2F064GG40
, 2F064GG44
, 2F064GG59
, 2F064GG64
, 2F064GG66
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064HH09
, 2F064JJ01
, 2G086HH06
出願人引用 (1件)
-
干渉計装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-205689
出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
審査官引用 (2件)
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干渉測定方法及び干渉測定システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-006335
出願人：コニカミノルタオプト株式会社
-
干渉計装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-205689
出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
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