特許
J-GLOBAL ID：200903004483979704
フローセンサ及び流量計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-088342
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286520
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 広範囲にわたる流速検知が可能なフローセンサと該フローセンサを用いて広範囲にわたる流量計測が可能な流量計測装置を提供すること。【解決手段】 本発明のフローセンサは、ガス流路10を流れるガスを加熱するヒータ4と、ヒータ4に対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度センサ13と、ヒータ4に対してガスの下流側に配置され、ガスの温度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度センサ11と、ヒータ4、上流側温度センサ13及び下流側温度センサ11を支持する支持基板2とを有する。ヒータ4は、ガスの流れ方向に平行な寸法D1がガスの流れ方向に垂直な寸法D2 より大きくなるように形成されている。
請求項（抜粋）：
ガス流路を流れるガスを加熱するヒータと、上記ヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を検出して第1温度検出信号を出力する上流側温度センサと、上記ヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温度を検出して第2温度検出信号を出力する下流側温度センサと、上記ヒータ、上記上流側温度センサ及び上記下流側温度センサを支持する支持基板とを有するフローセンサであって、上記ヒータは、上記ガスの流れ方向に平行な寸法が上記ガスの流れ方向に垂直な寸法より大きくなるように形成されていることを特徴とするフローセンサ。
Fターム (3件)：
2F035EA02
, 2F035EA05
, 2F035EA08
