特許
J-GLOBAL ID：200903030891434849
熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-094437
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012988
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 計測対象流体の種類や組成が変化すると出力特性に変化を生じるフローセンサによっても、計測対象流体の流量を精度良く計測できるようにする。【解決手段】 マイクロヒータ4が外部からの駆動電流により流体を加熱すると、マイクロヒータ4の加熱と並行して、上流側サーモパイル8は、マイクロヒータ4による加熱される前の流体の温度を検出し、第1の温度検出信号を出力し、下流側サーモパイル5は、マイクロヒータ4による加熱される前の流体の温度を検出し、第2の温度検出信号を出力し、これら両信号の差信号に基づき流量を算出するが、それに当たり、マイクロヒータ4に対して流体の流れ方向と略直交方向に配置された右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13により流体の温度を検出し右側温度検出信号及び左側温度検出信号を出力させ、これに基づき算出される流体の物性値に基づき、算出された流量を補正できるようにする。
請求項（抜粋）：
外部からの駆動電流により流路を流れる計測対象流体を加熱するヒータと、このヒータに対して前記計測対象流体の流れ方向と略直交方向に配置され、前記計測対象流体の温度を検出し、温度検出信号を出力する横側温度センサと、前記ヒータ及び前記横側温度センサを支持する支持基板と、を備えることを特徴とする熱式流体センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2F035EA05
, 2F035EA08
, 2G040AA02
, 2G040AB05
, 2G040AB08
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA14
, 2G040CA22
, 2G040CB02
, 2G040DA02
, 2G040DA03
, 2G040DA12
, 2G040DA15
, 2G040DA21
, 2G040EA02
, 2G040EA11
, 2G040EA13
, 2G040EB02
, 2G040GA05
, 2G040GA07
, 2G040HA08
, 2G040HA16
, 2G040HA18
, 2G040ZA05
出願人引用 (3件)
-
感熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-010922
出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
-
熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-298137
出願人：トキコ株式会社
-
集積型マイクロセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-245899
出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (3件)
-
感熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-010922
出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
-
熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-298137
出願人：トキコ株式会社
-
集積型マイクロセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-245899
出願人：株式会社日立製作所
前のページに戻る
