特許

J-GLOBAL ID：200903078786004947

フローセンサおよびその製造方法

発明者： 佐藤 幸人 ,  木村 光照
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー精器株式会社 ,  リコーエレメックス株式会社 ,  木村 光照
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005973
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304150
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 生産性、耐久性、安定性、測定特性、等が良好なフローセンサを実現する。【解決手段】 発熱機能と測温機能とを備える第一の温度検出部22と第二の温度検出部23をサーミスタ薄膜ヒータ24,25により形成したので、その構造が単純で生産性が良好である。第一・第二の温度検出部22,23を流体の流動方向に順番に配置する支持部26をダイアフラム構造に形成したので、乱流が発生せず測定特性が良好であり、支持部26の耐久性が構造的に良好であり、支持部26の裏側などに異物が堆積せず、フローセンサ1の測定特性が安定する。

請求項（抜粋）：

発熱機能と測温機能とを各々備えた第一の温度検出部と第二の温度検出部とを有し、これら第一の温度検出部と第二の温度検出部とを流体の流動方向に順番に位置させたフローセンサにおいて、前記第一の温度検出部と前記第二の温度検出部との各々をサーミスタ薄膜ヒータにより形成し、一個の基板にダイアフラム構造の一つの支持部を形成し、この支持部の表面に前記第一の温度検出部と前記第二の温度検出部とを配置したことを特徴とするフローセンサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/10

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/10 M

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-259527
  
• 感熱式マイクロブリッジ型流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108041   出願人：株式会社リコー
• 特開平2-132328
  
• 流体フローセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-064468   出願人：富士電機株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開平2-259527
  
• 感熱式マイクロブリッジ型流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108041   出願人：株式会社リコー
• 特開平2-132328
  
• 流体フローセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-064468   出願人：富士電機株式会社