特許
J-GLOBAL ID：200903004550122651
加速度・角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350727
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162235
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 構造を簡略化し、小型で効率の良いセンサを実現する。【解決手段】 円板状の圧電素子500の上面に、交差指状電極X1,X2,Y1,Y2,Z1〜Z4を形成する。各交差指状電極は、所定間隔をおいて配置された複数の指状電極からなる2種類の電極群を交互に並べることにより構成され、両電極群の間に所定極性の電圧を印加して分極処理が施される。圧電素子500の下面中央部には重錘体540が接合され、下面周囲部は台座550を介して装置筐体に固定される。電極Z1〜Z4に交流信号を与えると、重錘体540はZ軸方向に振動する。この状態で、X軸まわり又はY軸まわりの角速度ωx,ωyが作用すると、重錘体540に対してY軸方向又はX軸方向へのコリオリ力Fy,Fxが作用し、圧電素子500に撓みが生じる。この撓みは、電極Y1,Y2又は電極X1,X2に生じる起電力に基づいて検出される。
請求項（抜粋）：
XYZ三次元座標系における少なくとも一軸方向に作用する加速度を検出する機能をもった加速度センサにおいて、固定部と変位部とを有し、前記固定部を固定した状態で前記変位部に力が作用したときに機械的変形が生じる圧電素子と、前記圧電素子を収容するとともに、前記固定部を支持固定する装置筐体と、前記変位部に形成された重錘体と、前記圧電素子の機械的変形が生じる位置に形成された交差指状電極と、を備え、互いにほぼ平行になるように所定間隔をおいて配置され、互いに短絡した複数の指状電極からなる第1の電極群と、互いにほぼ平行になるように所定間隔をおいて配置され、互いに短絡した複数の指状電極からなる第2の電極群と、によって前記交差指状電極が構成され、前記第1の電極群を構成する指状電極と前記第2の電極群を構成する指状電極とは交互に並ぶように配置されており、前記圧電素子には、前記第1の電極群と前記第2の電極群との間に所定極性の電圧を印加することにより分極処理が施されており、前記重錘体に作用した加速度に基づいて前記変位部に力が作用し、前記圧電素子に機械的変形が生じたときに、前記第1の電極群と前記第2の電極群との間に前記加速度に応じた起電力が生じるようにしたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/09
, G01C 19/56
, G01P 9/02
, H01L 41/08
G01P 15/09
, G01C 19/56
, G01P 9/02
, H01L 41/08 Z
2F105BB12
, 2F105BB13
, 2F105CC11
, 2F105CC14
, 2F105CD02
, 2F105CD06
