特許

J-GLOBAL ID：200903004573947372

顕微ATRマッピング測定装置

発明者： 鈴木 康志 ,  和知 忠志
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037056
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233562
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 試料の測定領域において良好なマッピングを行なうことができる顕微ATRマッピング測定装置を提供する。【構成】 光学顕微鏡1からの入射光は、試料Sと凸の形状を有するプリズム5との密着点で全反射され、光学顕微鏡1により観察される。試料Sの他の分析点を測定する場合には、保持移動機構(x,y,zステージ)8により試料Sをプリズム5から離隔・移動させ、他の分析点をプリズム5と対向させる。この動作を繰り返し、試料表面のマッピング測定を行う。

請求項（抜粋）：

試料の表面に対して凸の形状を有するプリズムと、前記試料を保持するとともに、少なくとも2方向の移動が可能であって、一方の方向移動により試料とプリズムとの密着及び離隔を行い、他方の方向移動により試料とプリズムとの密着位置の変更を行う保持移動機構と、前記プリズムによる全反射光を測定する光学顕微鏡とを備え、前記保持移動機構による試料の移動によって、試料表面上の少なくとも1次元のマッピング測定を行うことを特徴とする顕微ATRマッピング測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/27 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/27 C ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 全反射吸収スペクトル測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-184551   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平4-294251
  
• 非常に小さいサンプル接触面を持つ内反射体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-136985   出願人：ドナルドダブリュースティング
• 赤外顕微測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-269691   出願人：河田聡