特許
J-GLOBAL ID：200903004574074038
ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
萩原 亮一
, 渡部 崇
, 石川 祐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-170684
公開番号（公開出願番号）：特開2005-008901
出願日： 2003年06月16日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】供給配管内の原料ガスの温度を精密に制御することができ、長期にわたり安定した操業が可能なガラス微粒子堆積体の製造方法、及びそのための装置を提供すること。【解決手段】加熱保温手段を備えたガラス原料ガスの供給配管の長手方向の複数箇所に温度測定手段を設けて温度を測定し、いずれかの測定点の温度が保温許容範囲の最低温度となったときに加熱保温手段の加熱保温力を増加させ、保温許容範囲の最高温度となったときに加熱保温力を低下させるように制御し、前記供給配管内の原料ガスの温度を精密に制御することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法、及びそのための装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
原料ガス供給部から加熱保温手段が設けられた供給配管を経由して原料ガスをガラス微粒子合成部へ供給してガラス微粒子を合成し、基材上に堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する方法において、前記供給配管の長手方向の複数箇所に温度測定手段を設けて温度を測定し、いずれかの測定点の温度が保温許容範囲の最低温度となったときに加熱保温手段の加熱保温力を増加させ、いずれかの測定点の温度が保温許容範囲の最高温度となったときに加熱保温手段の加熱保温力を低下させるように加熱保温手段を制御し、前記供給配管内の原料ガスの温度を精密に制御することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C16/448
, C03B37/018 A
, C03B37/018 C
4G021EA01
, 4G021EA03
, 4G021EB06
, 4K030EA03
, 4K030FA10
, 4K030KA41
