特許
J-GLOBAL ID：200903004605965220

静電吸着装置

発明者：
森岡 育久

森岡 育久 について

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川尻 哲也

川尻 哲也 について

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江口 正人

江口 正人 について

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鶴田 英芳

鶴田 英芳 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 細田 益稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-170491
公開番号（公開出願番号）：特開2002-368069
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：
【要約】【課題】腐食性物質に対する耐蝕性があり、電極パターンの間隙における絶縁性を高く維持することが可能であり、これによって電極パターンの微細化に対応可能な構造の静電吸着装置を提供する。【解決手段】静電吸着装置1Bは、誘電体層2、電極4A、4B、冷却部材5、および絶縁性接着剤3を備えている。誘電体層2は、セラミック誘電体からなり、吸着面2aと背面2bとを備えている。電極4A、4Bは、誘電体層2の背面2b側に設けられており、間隙10が設けられている。冷却部材5は、誘電体層2の背面2bと対向するように設けられている。絶縁性接着剤3は、誘電体層2の背面2bと冷却部材5との間に設けられている。絶縁性接着剤3が電極4A、4Bおよび背面2bを被覆し、電極の間隙10に介在している。
請求項（抜粋）：
セラミック誘電体からなり、吸着面と背面とを備えている誘電体層、この誘電体層の前記背面側に設けられている電極であって、間隙が設けられている電極、前記誘電体層の背面と対向するように設けられている冷却部材、および前記誘電体層の前記背面と前記冷却部材との間に設けられている絶縁性接着剤を備えており、前記絶縁性接着剤が前記電極および前記背面を被覆し、前記電極の前記間隙に介在していることを特徴とする、静電吸着装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/205
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/205
Fターム (9件)：
5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F045BB09 ,  5F045EM05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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