特許
J-GLOBAL ID:200903004630050244
感光性化合物およびこれを含むフォトレジスト組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
森田 憲一
, 山口 健次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-150520
公開番号(公開出願番号):特開2008-303221
出願日: 2008年06月09日
公開日(公表日): 2008年12月18日
要約:
【課題】超微細フォトレジストパターンを形成することができる感光性化合物およびこれを含むフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 前記感光性化合物は下記反応工程式3に示すように、下記化学式の構造を有する。 前記化学式において、xは1から5の定数であり、yは2から6の定数であり、Rは炭素数2から20の炭化水素基である。 前記フォトレジスト組成物は、前記化学式の構造を有する感光性化合物1から85重量%と、前記化学式で示される化合物の水酸基(-OH)と反応して前記化学式で示される感光性化合物と結合する化合物1から55重量%と、光酸発生剤1から15重量%、および有機溶媒12から97重量%を含む。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記化学式1の構造を有する感光性化合物。
IPC (5件):
C07C 65/24
, C07C 69/42
, G03F 7/038
, G03F 7/004
, H01L 21/027
FI (5件):
C07C65/24
, C07C69/42
, G03F7/038 601
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
Fターム (15件):
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC05
, 2H025AD01
, 2H025BD01
, 2H025BE07
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 4H006AA01
, 4H006AB76
, 4H006BJ50
, 4H006BP30
, 4H006BS10
引用特許:
引用文献:
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