ポジ型感放射線性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-331249
公開番号（公開出願番号）：特開2005-099246
出願日： 2003年09月24日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】高感度と高解像度の特性を併せ持つポジ型感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】(a)フェノール性水酸基を2〜7個有する多価フェノール化合物と、ビニルエーテル基を2〜4個有する多価ビニルエーテル化合物とを重付加して得られる重合体、(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤、および(c)アミン化合物を含有するポジ型感放射線性組成物であって、前記アミン化合物の含有量が、重合体に対して0.6wt%以上であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)フェノール性水酸基を2〜7個有する多価フェノール化合物と、ビニルエーテル基を2〜4個有する多価ビニルエーテル化合物とを重付加して得られる重合体、(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤、および(c)アミン化合物を含有するポジ型感放射線性組成物であって、前記アミン化合物の含有量が、重合体に対して0.6wt%以上であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 , C08G83/00 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 , C08G83/00 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

Fターム (20件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 4J031BA07 , 4J031BA10 , 4J031BB02 , 4J031BD22

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-226461号公報
特開平2-209977号公報
特開平4-219757号公報

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