III族窒化物結晶成長装置およびIII族窒化物結晶成長方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：植本雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147703
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338397
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】アルカリ金属を用いてIII族窒化物結晶を成長させるときに、直接反応生成物を形成しないアルカリ金属をアルコールや酸等の薬液を用いずに、置換やエッチングすることなく、III族窒化物結晶を取り出すことの可能なIII族窒化物結晶成長装置を提供する。【解決手段】第1の混合融液保持容器102の上部と第2の混合融液保持容器112の上部は、各々開口しており、連結管108によって連通している。この連結管108を加熱制御可能なように連結管加熱装置107が設置されている。ここで、連結管108は、第1,第2の温度制御領域のうちの一の温度制御領域から他の温度制御領域にアルカリ金属を輸送するためのアルカリ金属輸送領域として機能するようになっている。

請求項（抜粋）：

反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物結晶成長装置であって、1つの反応容器内に、温度を独立に制御可能な複数の異なる温度制御領域を有していることを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。

IPC (6件)：

C30B 29/38 , C01B 21/06 , C30B 25/16 , H01L 21/208 , H01L 33/00 , H01S 5/323 610

FI (6件)：

C30B 29/38 D , C01B 21/06 M , C30B 25/16 , H01L 21/208 T , H01L 33/00 C , H01S 5/323 610

Fターム (31件)：

4G077AA02 , 4G077BE15 , 4G077CC04 , 4G077CC06 , 4G077EG25 , 4G077EH06 , 5F041AA43 , 5F041CA40 , 5F041CA63 , 5F053AA50 , 5F053BB01 , 5F053BB12 , 5F053BB21 , 5F053BB22 , 5F053BB32 , 5F053BB58 , 5F053BB60 , 5F053DD20 , 5F053FF04 , 5F053GG01 , 5F053JJ03 , 5F053LL03 , 5F053RR03 , 5F053RR05 , 5F053RR11 , 5F053RR13 , 5F053RR14 , 5F073CA01 , 5F073CB03 , 5F073DA02 , 5F073EA28

引用特許：

審査官引用 (1件)

III族窒化物結晶および結晶成長方法および結晶成長装置およびIII族窒化物半導体デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-175577 出願人：株式会社リコー

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