特許
J-GLOBAL ID:200903004705672017
磁気検出素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-163698
公開番号(公開出願番号):特開2005-347418
出願日: 2004年06月01日
公開日(公表日): 2005年12月15日
要約:
【課題】 磁界検出感度の高い磁気検出素子を提供する。【解決手段】 固定磁性層14において、前記ホイスラー合金層14c2の下に前記下地層14c1を設けることによって磁気検出素子の単位面積当りの抵抗変化量×素子面積ΔRAが大きくなる。すなわち、磁気検出素子の磁界検出感度を向上させることができる。本発明によって磁気検出素子の磁界検出感度が向上する理由は下地層14c1とホイスラー合金層14c2は前述したミスフィット率が小さいため、ホイスラー合金層14c2の結晶性あるいは規則性が向上するためであると考えられる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
磁化方向が一方向に固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成されたフリー磁性層を有する磁気検出素子において、
前記固定磁性層が下地層と前記下地層の上に直接に又は非磁性材料または磁性材料からなる層を介して積層されたハーフメタル合金層を有しており、前記下地層は体心立方(bcc)構造を有し、組成式がCo1-xFex(xはat%で25≦x≦95)で表されるCoFe合金で形成されることを特徴とする磁気検出素子。
IPC (6件):
H01L43/08
, C22C19/07
, C22C38/00
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
FI (7件):
H01L43/08 M
, H01L43/08 Z
, C22C19/07 C
, C22C38/00 303Z
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
Fターム (8件):
5D034BA03
, 5D034BA05
, 5D034BA12
, 5E049AA04
, 5E049BA16
, 5E049CB01
, 5E049DB02
, 5E049DB12
引用特許:
出願人引用 (1件)
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磁気検出素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-114296
出願人:アルプス電気株式会社
審査官引用 (4件)