特許
J-GLOBAL ID：200903017058219520
交換結合膜、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気ランダムアクセスメモリ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316100
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124541
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】 不規則合金系反強磁性体層を使用した交換結合膜において、ピン層の保磁力を小さいまま維持しつつより大きな交換結合磁場とを実現し、大きな交換結合エネルギーが得られる交換結合膜を提供する。【解決手段】 基板10上に、基板10との密着性を高める下地層11a、反強磁性体層12の配向性を制御する下地層11b、IrMn不規則合金からなる反強磁性体層12、ピン層13、キャップ保護層14をこの順に形成する。ピン層13は反強磁性体層12と交換結合する交換結合付与層13a及び交換結合を強める交換結合エンハンス層13bの2層により形成し、交換結合付与層13aはCo又は面心立方晶構造のCo<SB>100-X</SB>Fe<SB>X</SB>合金(0≦X<25)からなる強磁性体により形成し、交換結合エンハンス層13bはFe又は体心立方晶構造のCo<SB>100-Y</SB>Fe<SB>Y</SB>合金(25≦Y≦100)により形成する。
請求項（抜粋）：
不規則合金からなる反強磁性体層と、Co又は面心立方晶構造のCoFe合金の強磁性体からなり前記反強磁性体層に接し前記反強磁性体層との界面において交換結合を与える交換結合付与層と、この交換結合付与層における前記反強磁性体層の反対側の面に配置されFe又は体心立方晶構造のCoFe合金の強磁性体からなり前記交換結合付与層により与えられた交換結合を増幅する交換結合エンハンス層と、を有することを特徴とする交換結合膜。
IPC (7件)：
H01L 43/08
, G01R 33/09
, G11B 5/39
, H01F 10/16
, H01F 10/187
, H01F 10/32
, H01L 27/105
H01L 43/08 Z
, G11B 5/39
, H01F 10/16
, H01F 10/187
, H01F 10/32
, H01L 27/10 447
, G01R 33/06 R
2G017AA01
, 2G017AD55
, 2G017AD65
, 5D034BA04
, 5D034BA05
, 5D034BA15
, 5D034CA08
, 5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AC01
, 5E049BA12
, 5E049DB12
, 5F083FZ10
, 5F083JA36
, 5F083JA37
