特許
J-GLOBAL ID：200903004763198279

加速度センサ

発明者：
水野 潤

水野 潤 について

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カイ・ノットマイヤー

カイ・ノットマイヤー について

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木村 光照

木村 光照 について


出願人/特許権者：
株式会社ゼクセル

株式会社ゼクセル について

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木村 光照

木村 光照 について


代理人 (1件)： 安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140698
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325104
出願日： 1994年06月01日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 センサ感度が良好で且つ機械的強度の大きな加速度センサを提供する。【構成】 枠部1の開口部1aの隣接する角部1b,1cからビーム2,3が、開口部1aの中央に向かって延設されており、その端部は重錘部8によって連結される一方、長手軸に直交する方向の断面に凹状部を有する各ビーム2,3にはピエゾ抵抗素子4,5が設けられており、ビーム2,3を形成する部材自体の板厚を厚くすることなく、ピエゾ抵抗素子4,5の感度を高くしつつ且つビーム2,3の機械的強度が増大されるようになっている。
請求項（抜粋）：
片持梁の振動端側に錘を有し、この片持梁に振動検出用の検出素子を設けてなる加速度センサにおいて、前記片持梁の支持端側の短手軸方向の幅を、前記片持梁の他の部位における短手軸方向の幅より大とすると共に、前記片持梁の支持端を支持する支持部材に前記検出素子と同一部材からなる補償用の素子を設けたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/12 ,  H01L 29/84
引用特許：
審査官引用 (18件)
  • 特開平4-315056
  • 特開平4-274766
  • 半導体応力検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-251505   出願人：日産自動車株式会社
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