感光性樹脂組成物及びこれを用いたレリーフパターンの製造法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-180191
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024266
出願日： 1997年07月04日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】耐PCT性、はんだ耐熱性、耐めっき液性、等が優れた感光性樹脂組成物及びレリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)一般式(1)(式中、Ar1は芳香環を含む4価の有機基、Xは単結合、-o-等、R1、R2、R3及びR4は、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基等、m、n、p及びqは、各々独立に、0〜4の整数である)で表される繰返し単位を有する芳香族ポリアミック酸化合物、(B)末端にエチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物、(C)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤及び(D)一般式(2)(式中、k個のR5は、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基等、R6は水素原子等、kは0〜4の整数である)で表されるベンゾトリアゾール化合物を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物の層を、基板上に形成し、像的に露光し、次いで現像を行うレリーフパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(1)【化1】(式中、Ar1は芳香環を含む4価の有機基を示し、Xは単結合、【化2】を示し、R1、R2、R3及びR4は、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基又はハロゲン原子を示し、m、n、p及びqは、各々独立に、0〜4の整数である)で表される繰返し単位を有する芳香族ポリアミック酸化合物、(B)末端にエチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物、(C)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤及び(D)一般式(2)【化3】(式中、k個のR5は、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基又はカルボキシル基を示し、R6は水素原子、炭素数1〜9のアルキル基、アルデヒド基、イソシアニド基又は水酸基を示し、kは0〜4の整数である)で表されるベンゾトリアゾール化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , H05K 3/28

FI (8件)：

G03F 7/038 504 , C08L 79/08 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D , H05K 3/28 D

引用特許：

審査官引用 (20件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-271868 出願人：東芝ケミカル株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-329516 出願人：チッソ株式会社
特開昭63-221109

特開昭63-221109

特開平2-228359

特開平2-191955

レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-339689 出願人：日本合成ゴム株式会社

ソルダーレジスト樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-339930 出願人：株式会社アサヒ化学研究所

特開平4-356051

特開昭63-177126

特開昭63-226640