表面形状認識センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295680
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132749
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】小型にすることが容易な表面形状認識センサを提供する。【解決手段】表面形状認識センサ1は、多数の振動素子2と基板3とを備えている。振動素子2は、基板3上に均一に位置するように格子状に等間隔に配列されている。この振動素子2は、圧電素子4と、物体が接触する接触子5とを備えている。圧電素子4は共振が起こるような所定の周波数の電圧が印加されることにより共振振動した状態に保たれる。そして、この圧電素子4の振動に対応した電圧の変化を検知する検出電極が圧電素子4内に設けられている。接触子5は各圧電素子4上に配置され、圧電素子4の振動により接触子5が振動される。そして、接触子5に物体が接触すると圧電素子4の振動が抑制され、振動素子2全体としての振動が共振点からずれ、検出される電圧が減少する。

請求項（抜粋）：

基板上に多数配設され、振動した状態に保たれるとともに、物体と接触すると振動の共振点が変化して、その振動に対応した電圧を生じる振動素子と、前記振動素子での電圧の変化を検知する検知手段とを備えたことを特徴とする表面形状認識センサ。

IPC (2件)：

G01B 11/30 , H01L 41/08

FI (2件)：

G01B 11/30 C , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-192790
モノリシック指紋センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-295757 出願人：フランス・テレコム
接触センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051665 出願人：平田隆志

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