特許
J-GLOBAL ID：200903004784396615

基板搬送方法

発明者：
岩田 義樹

岩田 義樹 について

, 
甲斐 誠一

甲斐 誠一 について


出願人/特許権者：
キヤノン販売株式会社

キヤノン販売株式会社 について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-155272
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356560
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】複数の処理ユニットのあらゆる処理時間にも影響を受けずに、処理ユニット内に待機することなく搬送を行なうことが可能な基板搬送方法を提供する。【解決手段】カセットに収納された基板をセンダS1又はS2に配置し、そのセンダS1又はS2より搬出された基板を複数の処理ユニットPEB乃至NCにて処理した後、レシーバR1又はR2側に配置されたカセットに収納する半導体製造装置を用いた基板搬送方法において、センダS1又はS2からの搬出タイミングの時間制御を行なう。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
カセットに収納された基板をセンダに配置し、そのセンダより搬出された基板を複数の処理ユニットにて処理した後、レシーバ側に配置されたカセットに収納する半導体製造装置を用いた基板搬送方法において、 前記センダからの搬出タイミングの時間制御を行なうことを特徴とする基板搬送方法。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H01L21/027
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/30 562
Fターム (18件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031PA02 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30 ,  5F046CD05 ,  5F046JA27 ,  5F046KA10 ,  5F046LA19
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平4-113612
  • 基板搬送制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220857   出願人：国際電気株式会社
  • 半導体装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153572   出願人：富士通株式会社
審査官引用 (3件)
  • 特開平4-113612
  • 基板搬送制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220857   出願人：国際電気株式会社
  • 半導体装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153572   出願人：富士通株式会社

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