特許
J-GLOBAL ID:200903004786370788

容量式物理量検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-280659
公開番号(公開出願番号):特開平11-118827
出願日: 1997年10月14日
公開日(公表日): 1999年04月30日
要約:
【要約】【課題】 サーボ制御を行う容量式加速度検出装置において、自己診断用の電極を設けることなく自己診断を行えるようにする。【解決手段】 加速度検出を行う検出回路20は、可動電極2dと固定電極3、4間の容量を電圧に変換するC-V変換器21と、その電圧に応じたデューティ比のパルス信号を発生するPWM信号発生回路22と、そのパルス信号により固定電極3、4に互いに逆相になるパルス信号を印加するインバータ23〜25から構成されており、可動電極2dを所定の位置に保つようにサーボ制御を行って、加速度を検出する。また、インバータ23には、電圧変調器31が設けられており、自己診断時にインバータ23の出力パルス信号の振幅を変調し、可動電極2dに疑似的な加速度を発生させる。ECU30は、そのときにPWM信号発生回路22から出力されるパルス信号のデューティ比の変化量から自己診断を行う。
請求項(抜粋):
物理量に応じて変位する可動電極(2d)と、この可動電極(2d)と対向配置される固定電極(3、4)と、前記可動電極(2d)と前記固定電極(3、4)間の容量変化を検出し、前記可動電極(2d)を所定の位置に保持するように前記固定電極(3、4)への印加信号をサーボ制御して、前記物理量に応じた信号を出力する検出手段(20)と、自己診断時に前記固定電極(3、4)への印加信号を変調して前記可動電極(2d)に疑似的な物理量を与え、前記サーボ制御によって前記検出手段(20)から出力される信号に基づいて、自己診断を行う自己診断手段(30、31、32、22b、22c、22d)とを備えたことを特徴とする容量式物理量検出装置。
IPC (2件):
G01P 15/13 ,  G01P 15/125
FI (2件):
G01P 15/13 ,  G01P 15/125
引用特許:
審査官引用 (5件)
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