洗浄機能付き荷電ビーム装置および荷電ビーム装置の洗浄方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139010
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】鏡筒内部の洗浄の際に、ドリフト原因となる酸化膜やフッ化膜の発生を抑制できる荷電ビーム装置を提供すること。【構成】鏡筒1の外部に設けられ、プラズマ源を収容した原料タンク3と、原料タンク3から供給されたプラズマ源からプラズマを生成するプラズマ生成装置2と、プラズマ生成装置2で生成されたプラズマを鏡筒1内に導入し、排気するためのゲートバルブ6a〜6dおよび排気用ポンプ4と、被洗浄部分9のうち、汚染物質が付着している部分が主としてプラズマに供されるように、鏡筒1内におけるプラズマの通路を限定するオーリング20とを備えている。

請求項（抜粋）：

荷電ビーム発生部と荷電ビームを偏光制御する光学系とからなる鏡筒と、この鏡筒に接続して設けられ、荷電ビームが照射される試料が収容されるチェンバと、前記荷電ビーム発生部と前記光学系とを真空的に分離する第1の分離手段と、この第1の分離手段によって区画された部分を排気する排気手段と、前記区画部分に接続され、前記区画部分の内部汚染物の除去に供するプラズマおよび活性種の少なくとも一方からなる内部汚染物除去用ガスを生成するガス生成手段と、このガス生成手段により生成された内部汚染物除去用ガスが、前記ガス生成手段から前記区画部分に導入され前記排気手段で排出される間に、前記内部汚染物除去用ガスが所定の洗浄部分を通過するように、前記内部汚染物除去用ガスの流路を制御する流路制御手段とを具備してなることを特徴とする洗浄機能付き荷電ビーム装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01J 37/18

FI (2件)：

H01L 21/30 541 G , H01L 21/30 541 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

荷電ビーム照射装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-124406 出願人：株式会社東芝
特開昭57-068027
特開昭63-005532

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