特許

J-GLOBAL ID：200903004806685268

蒸着装置

発明者： 大工 博之 ,  井上 鉄也
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (4件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-070183
公開番号（公開出願番号）：特開2006-249541
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：

【課題】蒸着材料の種類または加熱温度などの蒸着条件が変わったが場合でも、蒸発材料の放出部を交換することなく、被蒸着部材に形成される膜厚の均一性を維持し得る蒸着装置を提供する。【解決手段】坩堝3で得られた蒸発材料を、蒸着用容器2内に配置されたガラス基板1に向かって放出する放出部材6に、蒸発材料を放出する放出用ノズル5を複数設けるとともに、これら各放出用ノズルの開口径およびノズル高さを同一となし、これら各放出用ノズルの開口部5aをそれぞれ開閉自在な板状シャッタ18を有するシャッタ部材7を設けるとともに、これら各板状シャッタの開閉周期を制御する制御装置8を設けたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源と、この蒸発源で得られた蒸発材料を、蒸着用容器内に配置された被蒸着部材に向かって放出する放出部材とを具備する蒸着装置であって、 上記放出部材に蒸発材料を放出する放出用ノズルを複数設け、 且つ上記各放出用ノズルの開口部をそれぞれ開閉自在なシャッタ部材を設けるとともに、これら各シャッタ部材の開閉動作を行う駆動部を制御する制御装置を設けたことを特徴とする蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (3件)：

C23C14/24 C ,  C23C14/24 G ,  C23C14/24 U

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DA12 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029EA00 ,  4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 補強部材構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-043461   出願人：株式会社神津製作所

審査官引用 (1件)

• 真空蒸着機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-020949   出願人：三菱日立製鉄機械株式会社