真空蒸着機

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：光石俊郎 , 光石忠敬 , 田中康幸 , 松元洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-020949
公開番号（公開出願番号）：特開2005-213569
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】大型基板においても、蒸着材料の蒸気の均一な流れを形成し、蒸気分布を制御して、蒸着を均一化できる真空蒸着機を提供する。【解決手段】蒸発室18側からガラス基板12側へ流入する蒸着材料15の蒸気量を、ガラス基板12の板幅方向Lにおいて均一に制御するスプールシャッタ21と、ガラス基板12の下面側に、ガラス基板12の被蒸着面に平行に配置され、蒸着材料15の蒸気の面内分布及び流れを、蒸着室25a内において整える多孔板シャッタ23とを、真空蒸着機に設けることで、ガラス基板12の板幅方向Lの蒸着の均一化を図る。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

真空容器内に設けられ、基板を搬送する搬送手段と、前記基板の下面側に設けられ、少なくとも、前記基板の搬送方向に垂直な方向である板幅方向の被蒸着領域の長さを有する蒸着室と、前記真空容器の下方側に設けられ、蒸着材料を気化又は昇華させて、前記蒸着材料の蒸気を発生させる蒸発室と、少なくとも、前記基板の前記板幅方向の被蒸着領域の長さを有すると共に、前記基板の前記板幅方向における前記蒸発室からの前記蒸着材料の蒸気量を制御する蒸気量制御手段と、前記蒸発室から前記蒸着室までの真空容器の壁面を加熱する加熱手段とを有し、前記蒸気量制御手段は、前記基板の前記板幅方向に、複数の入口孔及びそれに対応する複数の出口孔を備えたブロックと、前記ブロック内に回転可能に嵌合され、前記基板の前記板幅方向に複数配設された円柱形状のシャッタシャフトと、各々の前記シャッタシャフトに設けられ、前記1つの入口孔とそれに対応する前記1つの出口孔とを連通する連通孔とを有することを特徴とする真空蒸着機。

IPC (1件)：

C23C14/24

FI (3件)：

C23C14/24 U , C23C14/24 G , C23C14/24 V

Fターム (10件)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB18 , 4K029HA01 , 4K029KA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-314430 出願人：三菱重工業株式会社, 日新製鋼株式会社

審査官引用 (7件)

特開昭61-261477
特開平2-125866
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-164011 出願人：三菱重工業株式会社

全件表示

前のページに戻る