感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058177
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223940
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーに対して、一般式(2)または(3)で表されるジアミン化合物と、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】【化3】(R1は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する3価または4価の有機基。R2、R6は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する2価の有機基。R3、R7は炭素数2から30までの2価の有機基。R4は芳香族を含む1価の有機基。R5は炭素数1から10までの有機基、あるいは水素のうち1種または2種以上を含むもの。l、mは1から100000までの整数、nは1または2の整数、p、qは1から4までの整数。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーに対して、一般式(2)または(3)で表されるジアミン化合物と、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】【化3】(R1は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する3価または4価の有機基。R2、R6は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する2価の有機基。R3、R7は炭素数2から30までの2価の有機基。R4は芳香族を含む1価の有機基。R5は炭素数1から10までの有機基、あるいは水素のうち1種または2種以上を含むもの。l、mは1から100000までの整数、nは1または2の整数、p、qは1から4までの整数。)

IPC (7件)：

G03F 7/022 , C08K 5/17 , C08K 5/28 , C08K 5/54 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 501

FI (7件)：

G03F 7/022 , C08K 5/17 , C08K 5/28 , C08K 5/54 , C08L 79/08 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 501

引用特許：

審査官引用 (18件)

ポジ型感光性樹脂組成物とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-263618 出願人：東レ株式会社
耐高熱性ポジ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造物の製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-139694 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
特開平4-031861

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