特許

J-GLOBAL ID：200903068949988294

感光性組成物およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： 野口 有一
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-343030
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174680
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液でパターン形成が可能なポジ型の感光性組成物であって、膜特性、寸法精度、解像度等に優れたポジ型の感光性組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 感光性組成物は、(A)【化1】(ただし、R1 、R2 は二価の芳香族基を表す)で表される繰返し単位を有するポリマー、(B)官能価 2以上のビニルエーテル化合物、および(C)光酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)【化1】(ただし、R1 、R2 は二価の芳香族基を表す)で表される繰返し単位を有するポリマー、(B)官能価 2以上のビニルエーテル化合物、および(C)光酸発生剤を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-027140
  
• 耐熱性ポジ型フォトレジスト組成物およびそれを用いた感光性基材ならびにパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-310147   出願人：日東電工株式会社
• ポジ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-018793   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開昭56-027140