特許
J-GLOBAL ID：200903004876192650
ゾル-ゲル工程を利用した強誘電体薄膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-393113
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261093
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：
【要約】【課題】 結晶性が良好かつ緻密で、しかも均一な強誘電体薄膜を再現性よく製造することができるゾル-ゲル工程を利用した強誘電体薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 Pb含有前駆体を所定の溶媒に溶解させてPb含有溶液を調製すると共に、Ti含有前駆体及びZr含有前駆体の各々を所定の溶媒に溶解させて安定化させたTi含有溶液並びにZr含有溶液を調製する段階と、前記Pb含有溶液、前記Ti含有溶液及びZr含有溶液を混合して撹拌すると共に、これを加水分解させて強誘電体含有溶液を調製する段階と、前記強誘電体含有溶液を基板上にコーティングして強誘電体薄膜を形成する段階とを含んで構成する。本発明によれば、強誘電体薄膜を製造するために用いられる原料溶液の安定性と耐久性とが高められ、しかも膜質が大きく向上された強誘電体薄膜を製造することができる。
請求項（抜粋）：
ゾル-ゲル工程を利用した強誘電体薄膜の製造方法において、Pb(鉛)を含有する前駆体を所定の溶媒に溶解してPb含有溶液を調製すると共に、Zr(ジルコニア)を含有する前駆体、及びTi(チタン)を含有する前駆体を各々所定の溶媒に溶解して安定化させ、Zr含有溶液及びTi含有溶液を調製する段階と、前記安定化されたZr含有溶液とTi含有溶液とを混合してTi-Zr溶液を調製する段階と、前記Ti-Zr溶液を、前記Pb含有溶液と混合して撹拌し、さらにこの混合溶液を加水分解させて強誘電体含有溶液を調製する段階と、このようにして調製された強誘電体含有溶液を用いて基板上に強誘電体薄膜を形成する段階と、を含むことを特徴とするゾル-ゲル工程を利用した強誘電体薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 21/316
, H01L 27/105
H01L 21/316 G
, H01L 27/10 444 C
5F058BA20
, 5F058BC03
, 5F058BF46
, 5F058BH03
, 5F058BH04
, 5F058BJ04
, 5F083FR01
, 5F083JA15
, 5F083PR23
, 5F083PR33
, 5F083PR34
