特許
J-GLOBAL ID：200903004886523492
研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012856
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198794
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【課題】 研磨面の状態変化を簡便に測定でき、研磨面のドレッシングのタイミング及び研磨面を構成する部材の交換時期を適切に判定し、基板の研磨面を高品質に研磨できる研磨装置を提供すること。【解決手段】 トップリング、研磨面12aを有するターンテーブル12及び該研磨面を再生するドレッサ11を具備し、各々独立して回転するトップリングとターンテーブル12の研磨面12aの間に被研磨物を介在させ、該被研磨物を研磨すると共に、所定のタイミングで研磨面12aをドレッサ11により再生することができる研磨装置において、ターンテーブル12の研磨面12aの性状を観測するセンサー13等を具備する性状測定器を設け、ドレッサ11で研磨面12aの再生を行う際、該性状測定器で該研磨面12aの性状を観測し、観測結果を表示する表示器21を設けた。
請求項（抜粋）：
トップリング、研磨面を有するターンテーブル及び該研磨面を再生するドレッサを具備し、各々独立して回転する前記トップリングと前記ターンテーブルの研磨面の間に被研磨物を介在させ、該被研磨物を研磨すると共に、所定のタイミングで前記研磨面を前記ドレッサにより再生することができる研磨装置において、前記ターンテーブルの研磨面の性状を観測する性状測定器を設け、前記ドレッサで前記研磨面の再生を行う際、該性状測定器で該研磨面の性状を観測し、観測結果を表示する表示手段を設けたことを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/00
, B24B 49/18
, B24B 53/00
, B24B 53/02
B24B 37/00 A
, B24B 49/18
, B24B 53/00 A
, B24B 53/02
3C034AA13
, 3C034AA17
, 3C034BB15
, 3C034CA09
, 3C034CA30
, 3C034CB12
, 3C034CB13
, 3C034DD05
, 3C034DD20
, 3C047AA03
, 3C047AA34
, 3C058AA07
, 3C058AC02
, 3C058BA09
, 3C058BC03
, 3C058DA17
