特許
J-GLOBAL ID:200903004941030409

フッ化カルシウム結晶製造方法およびレンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-291985
公開番号(公開出願番号):特開2000-119098
出願日: 1998年10月14日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 紫外または真空紫外域の光に対する光透過性に優れるフッ化カルシウム結晶を作製することができるフッ化カルシウム結晶製造方法の提供。【解決手段】 フッ化カルシウム原料に脱酸素剤を添加して脱酸素化することにより前処理品を作製する第1の工程と、前処理品を融解して結晶化することによりインゴットを得る第2の工程とを有するフッ化カルシウム結晶製造方法において、フッ化カルシウム原料,前処理品およびインゴットの少なくともいずれか1つのに関して脱酸素剤に含まれるの主要な成分である金属元素を被定量元素として定量分析し、その分析値に基づいて各工程を管理する。例えば、脱酸素剤にフッ化鉛を使用した場合には、フッ化鉛にフッ化カルシウム原料、前処理品、インゴットの少なくともいずれか1つに含まれる鉛の含有量を定量分析して管理する。
請求項(抜粋):
フッ化カルシウム原料に脱酸素剤を添加して脱酸素化することにより前処理品を作製する第1の工程と、前記前処理品を融解して結晶化することによりインゴットを得る第2の工程とを有するフッ化カルシウム結晶製造方法において、前記フッ化カルシウム原料,前処理品およびインゴットの少なくともいずれか1つに関して、前記脱酸素剤の主要な成分である金属元素を被定量元素として定量分析し、その分析値に基づいて前記各工程を管理することを特徴とするフッ化カルシウム結晶製造方法。
IPC (4件):
C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  G01N 21/73 ,  G02B 1/02
FI (4件):
C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  G01N 21/73 ,  G02B 1/02
Fターム (15件):
2G043AA01 ,  2G043BA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA02 ,  2G043EA08 ,  2G043GA07 ,  2G043NA11 ,  4G076AA07 ,  4G076AB04 ,  4G076AC10 ,  4G076BA11 ,  4G076CA40 ,  4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CB02
引用特許:
審査官引用 (5件)
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