誤配線検査装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058254
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232384
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】半導体装置の配線が誤配線であるか否かを視覚的に容易に認識できる表示機能を実現する。【解決手段】設計上の配線パターン情報51と配線工程が完了した半導体装置の実画像情報52を、同一画面内に同時に表示する。

請求項（抜粋）：

配線工程が完了した半導体装置の実画像情報を取り込む画像取り込み手段と、該実画像と設計上の配線パターン情報とを同一画面内に表示する画像表示手段とを具備することを特徴とする誤配線検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/60 321 , H01L 21/60 301 , G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01L 21/60 321 Y , H01L 21/60 301 Z , G01B 11/24 C , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

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