特許
J-GLOBAL ID：200903004976124929

ディスク表面検査装置における欠陥種類判別方法

発明者：
石黒 隆之

石黒 隆之 について

, 
堀江 聖岳

堀江 聖岳 について


出願人/特許権者：
日立電子エンジニアリング株式会社

日立電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-361346
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180376
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 正反射光や散乱光を検出する受光素子から得られた信号を適切に選択し、その信号に応じた処理を行うことにより、各種の欠陥種類を正確に判別できるようにしたディスク表面検査装置における欠陥種類の判別方法の提供。【解決手段】 欠陥種類の判別方法は、複数種類の受光信号から1つの受光信号を特定する第1のステップと、前記特定された受光信号の種類に応じて異なる欠陥判別処理を行うことによりディスク表面上の欠陥種類を特定する第2のステップとを具える。複数の受光手段が同時に受光して受光信号を得た場合に、複数種類の受光信号の組み合わせに対応して、複数の異なる判定基準のうちいずれかを選択し、選択した判定基準に従って1つの受光信号が特定される。そして、特定された受光信号の種類に応じて異なる欠陥判別処理を行うので、詳細かつ正確な欠陥の判定を行うことができる。
請求項（抜粋）：
レーザー光をディスク表面に照射して該表面を走査する投光手段と、該表面からの正反射光を受光するための1又は複数の受光手段と、該表面に存在する欠陥による前記正反射光の散乱光を受光するための1又は複数の受光手段とを具えるディスク表面検査装置において、前記受光手段から得られる複数種類の受光信号から1つの受光信号を特定する第1のステップと、前記特定された受光信号の種類に応じて異なる欠陥判別処理を行うことによりディスク表面上の欠陥種類を特定する第2のステップとを具えた欠陥種類の判別方法。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01N 21/88 630 A ,  G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 D
Fターム (37件)：
2F065AA14 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB03 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH02 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065UU05 ,  2G051AA71 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EB10 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED13
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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