特許
J-GLOBAL ID：200903005001899730
脱気装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松月 美勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162941
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333206
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】気体透過性チュ-ブを用いて脱気処理を行う場合、液漏れがあっても装置を停止するまでの間においても、安定な脱気処理を行い得る脱気装置を提供する。【解決手段】被脱気液体流入口11と流出口12を有する減圧チャンバ-1に気体透過性チュ-ブ2を収容し、該チュ-ブ2の両端を前記流入口11と流出口12に連結し、前記チャンバ-内底部13に達する真空引き用管3を前記チャンバ-1に取付けた。
請求項（抜粋）：
被脱気液体流入口と流出口を有する減圧チャンバ-に気体透過性チュ-ブを収容し、該チュ-ブ両端を前記流入口と流出口に連結し、前記チャンバ-内底部に達する真空引き用管を前記チャンバ-に取付けたことを特徴とする脱気装置。
引用特許：
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