特許
J-GLOBAL ID：200903005049342478
平面度測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064125
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260037
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 フォトマスク、レチクル、等のマスクの平面度測定はその自重によるたわみの影響を避けるために、縦置きとされ、自重によりマスク面がたわむことがないよう保持され、横方向に設けた干渉計、等の検出装置を用いてマスクの平面度を測定していた。このときマスクの位置をマスクに何らかの機械的な外力を加えて保持しなければならないが、このとき発生する歪みが平面度測定の無視できない誤差要因となる問題があった。【解決手段】 板状物体の平面度測定方法に於いて、前記板状物体を、3個所に配置された保持子を有し、且つ各前記保持子が前記板状物体の下面と実質的に点接触し、尚且つ前記板状物体面を水平方向に保ち、いかなる機械的外力も加えず、摩擦力のみで保持するよう調整された保持具に保持し、板状物体の歪み状態を測定し、歪み状態から計算または測定によって得られた自重によるたわみを減算し、前記板状物体の平面度を算出することにより解決した。
請求項（抜粋）：
板状物体の平面度測定方法に於いて、前記板状物体を、3個所に配置された保持子を有し、且つ各前記保持子が前記板状物体の下面と実質的に点接触し、尚且つ前記板状物体面を水平方向に保ち、いかなる機械的外力も加えず、摩擦力のみで保持するよう調整された保持具に保持し、前記板状物体の歪み状態を上方または下方より測定し、前記測定された歪み状態から、理論計算または測定によって得られた前記板状物体の自重によるたわみを減算し、前記板状物体の平面度を算出することにより、板状物体の平面度を測定することを特徴とする平面度測定方法。
IPC (5件)：
G01B 21/30 101
, G01B 21/30
, G01B 11/30 101
, G01B 21/00
, H01L 21/66
G01B 21/30 101 F
, G01B 21/30 Z
, G01B 11/30 101 A
, G01B 21/00 A
, H01L 21/66 Z
