特許

J-GLOBAL ID：200903005084166674

磁気ヘッドとその製造方法

発明者： 志村 健一 ,  馬場 和宏
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336195
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224416
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】 高密度記録装置において、磁気記録媒体の記録再生に用い、耐磨耗性および耐摺動性に優れた磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 磁気ヘッドスライダ1の空気浮上面3に、水素を含有し珪素、鉄、アルミニウム等の元素のうち少なくとも1種を含有する硬質非晶質炭素膜4を保護膜として設ける。水素の含有量は硬質非晶質炭素膜4を構成する全元素に対して10原子%以上30原子%以下、珪素、鉄、アルミニウム等元素の含有量は炭素に対して1原子%以上10原子%以下とする。保護膜として設ける硬質非晶質炭素膜4の厚さは、磁気ヘッドと磁気記録媒体が狭ギャップ化され、かつ耐摺動性が得られるよう、厚さ1nm以上30nm以下、望ましくは10nm以下とする。

請求項（抜粋）：

磁気ヘッドスライダの少なくとも空気浮上面上に保護膜を有する磁気ヘッドにおいて、該保護膜は水素および、炭素と容易に結合する元素を少なくとも1種以上含有し、かつ厚さが1nm以上30nm以下の硬質非晶質炭素から成ることを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  G11B 5/187 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 B ,  G11B 5/187 K ,  G11B 21/21 101 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 磁気ディスク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127108   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭63-297208
  
• 硬質炭素膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-142101   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開平4-276367