特許

J-GLOBAL ID：200903005124716745

ガス中の微量不純物の分析方法及び分析装置

発明者： 菊地 勉 ,  西名 明
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-220419
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061321
出願日： 2002年07月29日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】より高精度の分析が可能なガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。【解決手段】ガスクロマトグラフの分離カラム2で試料ガス中の微量不純物を分離し、当該微量不純物をイオン源部19でイオン化し、質量分離する質量分析装置を用いるガス中の微量不純物の分析方法において、 前記分離カラム2から前記イオン源部19の圧力を、大気圧よりも高く維持しながら、分析を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ガスクロマトグラフの分離カラムで試料ガス中の微量不純物を分離し、当該微量不純物をイオン源部でイオン化し、質量分離する質量分析装置を用いるガス中の微量不純物の分析方法において、 前記分離カラムから前記イオン源部の圧力を、大気圧よりも高く維持しながら、分析を行うことを特徴とするガス中の微量不純物の分析方法。

IPC (4件)：

G01N27/62 ,  G01N30/72 ,  H01J49/04 ,  H01J49/10

FI (5件)：

G01N27/62 C ,  G01N27/62 F ,  G01N30/72 A ,  H01J49/04 ,  H01J49/10

Fターム (7件)：

5C038EE01 ,  5C038EF03 ,  5C038EF12 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH08 ,  5C038GH15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガスクロマトグラフ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-211017   出願人：株式会社島津製作所
• ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-249434   出願人：日本酸素株式会社
• 気体中の不純物濃度の測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-204973   出願人：株式会社日本エイピーアイ