特許
J-GLOBAL ID：200903005141165434

マスク、マスク固定装置、及びマスクを使用して製造するディスプレイの製造方法

発明者：
大崎 啓功

大崎 啓功 について

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金子 勝弘

金子 勝弘 について

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小林 和正

小林 和正 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370702
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173107
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】 本発明の目的は、高輝度を実現可能な蒸着パターンのディスプレイを得ることができ、マスクの変形を防止することができるマスク、マスク固定装置、及びマスクを使用して製造するディスプレイの製造方法を提供することである。【解決手段】基板9に対して薄膜を形成するためのマスク1において、多数の開口2を有するプレート4と、前記開口2の非形成領域に位置する前記プレート4上に設けられ、前記プレート4を前記基板9側に押圧するための押圧部材5と、を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板に対して薄膜を形成するためのマスクにおいて、 多数の開口を有するプレートと、 前記開口の非形成領域に位置する前記プレート上に設けられ、前記プレートを前記基板側に押圧するための押圧部材と、を有することを特徴とするマスク。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z
Fターム (14件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許：
出願人引用 (3件)

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