特許

J-GLOBAL ID：200903005153662298

2つの対象物間の相対的位置ずれ検出方法及び装置

発明者： 黒田 亮 ,  稲生 耕久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-192252
公開番号（公開出願番号）：特開2006-013400
出願日： 2004年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】2つの対象物間のより高精度な位置ずれ量の検出が可能となる相対的位置ずれ検出方法及び装置を提供する。【解決手段】2つの対象物間の相対的位置ずれを検出する相対的位置ずれ検出方法であって、第1の対象物101と第2の対象物102とを、これら対象物間に設けられた厚さが光源の波長よりも小さい誘電体層105を介し、該第1の対象物と該第2の対象物のそれぞれに形成された前記光源の波長よりも大きい格子ピッチpを有する回折格子103,104を、それらが対向するようにして配置し、前記光源から前記それぞれの回折格子に光106を入射させ、これらの回折格子から空間に出射される回折光107,108を検出して、前記第1の対象物と前記第2の対象物との相対位置ずれを検出するように構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

2つの対象物間の相対的位置ずれを検出する相対的位置ずれ検出方法であって、 第1の対象物と第2の対象物とを、これら対象物間に設けられた厚さが光源の波長よりも小さい誘電体層を介し、該第1の対象物と該第2の対象物のそれぞれに形成された前記光源の波長よりも大きい格子ピッチを有する回折格子を、それらが対向するようにして配置し、 前記光源から前記それぞれの回折格子に光を入射させ、これらの回折格子から空間に出射される回折光を検出して、前記第1の対象物と前記第2の対象物との相対位置ずれを検出することを特徴とする相対位置ずれ検出方法。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 502D

Fターム (6件)：

5F046BA10 ,  5F046CB17 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046FA10 ,  5F046FB06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許6334960号明細書
  
• 露光方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-322231   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (2件)

• 光露光または転写方法および装置またはそのためのマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319781   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭60-077423