特許
J-GLOBAL ID：200903005169125276

検査装置及び検査方法

発明者：
山根 昭彦

山根 昭彦 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349848
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 検査装置が固有に持っている誤差の測定などのために、被検査物が複数の異なる方向となされて搬入される場合においても、この検査装置上の複数の座標系間の座標変換処理を容易とし、正確な誤差の測定が行えるようにする。【解決手段】 基台1を基準とするメカニカル座標系と、検査用ステージ2の基準点を原点とするステージ座標系と、CCDカメラ4の撮像範囲を基準とするカメラ座標系と、半導体ウェハ101の中心を原点とするウェハ座標系との間の対応付けをするにあたり、搬送機構3による半導体ウェハ101の回動に相当する変換行列RTも含めて変換処理を行い、半導体ウェハ101上のウェハ座標系における任意点PをCCDカメラ4によって撮像する。
請求項（抜粋）：
基台と、上記基台上に設けられ、被検査物を支持するとともに、この被検査物を所定の移動平面内において移動操作する被検査物支持機構と、上記被検査物を、上記被検査物支持機構により上記被検査物が移動操作される移動平面に垂直な線を軸として回動操作し、該被検査物支持機構に支持させる搬送機構と、上記基台上に該基台に対して移動可能に設けられ、上記移動平面の外から、上記被検査物支持機構により支持された被検査物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段を移動操作する撮像手段移動機構と、上記被検査物支持機構、上記搬送機構及び上記撮像手段移動機構の動作を制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、上記基台を基準としたメカニカル座標系と、上記被検査物支持機構の移動部上の基準点を原点とするステージ座標系と、上記撮像手段における撮像範囲を基準としたカメラ座標系と、上記被検査物の中心を原点とした被検査物座標系とを定義し、上記メカニカル座標系の原点をOM(0,0)とし、このメカニカル座標系における上記被検査物支持機構の移動部上の基準点の座標をOSとし、該メカニカル座標系における撮像手段による撮像範囲の基準点の座標をOAとし、上記ステージ座標系における被検査物の中心の座標をOWとして、上記被検査物上の任意の点Pについて、上記メカニカル座標系における座標をPMとし、上記カメラ座標系における座標をPAとし、上記ステージ座標系における座標をPSとし、上記被検査物座標系における座標をPWとし、上記メカニカル座標系から上記カメラ座標系への点Pの移動量の一次変換行列をAとし、上記ステージ座標系から上記被検査物座標系への点Pの移動量の一次変換行列をRとし、上記搬送機構による上記被検査物の回動に相当する一次変換行列をRTとして、PM=A-1PA+OAにより、上記カメラ座標系と上記メカニカル座標系との対応付けを行い、PS=A-1PA+OA-OSにより、上記カメラ座標系と上記ステージ座標系との対応付けを行い、PS=RPW+OWにより、上記被検査物座標系と上記ステージ座標系との対応付けを行い、さらに、PS=RRTPW+OWにより、上記搬送機構の動作も含めて上記被検査物座標系と上記ステージ座標系との対応付けを行い、OS=A-1PA+OA-(RRTPW+OW)により、上記カメラ座標系と上記被検査物座標系との対応付けを行うことにより、該被検査物座標系における上記被検査物上の任意の点Pを上記撮像手段によって撮像することを特徴とする検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305
FI (6件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 C ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K
Fターム (52件)：
2F065AA03 ,  2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065EE06 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM24 ,  2F065MM25 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051AC01 ,  2G051AC24 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA20 ,  2G051EA11 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD02 ,  5B057CD03 ,  5B057CD20
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • 特開平3-075507
  • 位置検出方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-036934   出願人：ソニー株式会社
  • 光学式3次元位置検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-197848   出願人：株式会社日本メディックス
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審査官引用 (13件)
  • 特開平3-075507
  • 特開平3-075507
  • 位置検出方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-036934   出願人：ソニー株式会社
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