特許
J-GLOBAL ID：200903024744561541
ウェハ搬送機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-206082
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040728
出願日： 1998年07月22日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】付加的な工程を取ることなくウェハをアームの所定の位置に配置できる搬送機構を提供する。【解決手段】被処理体を収納部に搬入または搬出する搬送機構が,被処理体のエッジ部と接触可能な突起部を先端に有し,被処理体を保持するアーム部材と,被処理体を収納部に対して搬入または搬出するために,被処理体を保持した状態で,該アーム部材を引戻し位置と伸長位置との間で往復移動させる移動機構と,アーム部材の近傍に位置し,保持された被処理体をアーム部材上の所定の位置に配置するための,被処理体のエッジ部と接触可能な配置付け部材と,から構成される。移動機構により,アーム部材が引戻し位置へ移動するとき,配置付け部材は,アーム部材上に保持された被処理体のエッジ部と接触し,被処理体の移動を阻止し,アーム部材上の所定の位置に配置する。
請求項（抜粋）：
被処理体を収納部に搬入または搬出する搬送機構であって,(a)被処理体のエッジ部と接触可能な突起部を先端に有し,前記被処理体を保持するアーム部材と,(b)前記被処理体を前記収納部に対して搬入または搬出するために,前記被処理体を保持した状態で,該アーム部材を引戻し位置と伸長位置との間で往復移動させる移動機構と,(c)前記アーム部材の近傍に位置し,保持された前記被処理体を前記アーム部材上の所定の位置に配置するための,被処理体のエッジ部と接触可能な配置付け部材と,から構成され,前記移動機構により,前記アーム部材が前記引戻し位置へ移動するとき,前記配置付け部材は,前記アーム部材上に保持された前記被処理体のエッジ部と接触し,前記被処理体の移動を阻止し,前記アーム部材上の所定の位置に配置する,ことを特徴とする搬送機構。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25J 15/08 A
, B65G 49/07 C
3F061AA01
, 3F061BA03
, 3F061BB09
, 3F061BD08
, 3F061BE06
, 3F061BE24
, 3F061BF00
, 3F061DB04
, 3F061DB06
, 5F031CC04
, 5F031CC12
