特許
J-GLOBAL ID：200903005169861290
接触燃焼式ガスセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277401
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099801
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 可燃性ガスに対してより大きなセンサ出力を得ることができ、これによって、低濃度の可燃性ガスや感度の低い可燃性ガスに対してガス検知感度を向上することができ、簡単な構成で安価な接触燃焼式ガスセンサを提供する。【解決手段】 可燃性ガスを燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することにより可燃性ガスを検量する接触燃焼式ガスセンサであって、Si基板2上に形成され可燃性ガスの燃焼を促すためのマイクロヒータ4と、このマイクロヒータ4上に形成され且つこのマイクロヒータ4の発熱量に応じて発熱して可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用するパラジウム等の触媒層29と、この触媒層29及びマイクロヒータ4の近傍に配置され、可燃性ガスの燃焼熱を検出する第1及び第2のサーモパイル5,8とを備えた。
請求項（抜粋）：
可燃性ガスを燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することにより可燃性ガスを検量する接触燃焼式ガスセンサであって、基板上に形成され前記可燃性ガスの燃焼を促すためのヒータと、このヒータ上に形成され且つこのヒータの発熱量に応じて発熱して前記可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用する触媒層と、この触媒層及び前記ヒータの近傍に配置され、前記可燃性ガスの燃焼熱を検出するサーモパイルと、を備えることを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。
Fターム (20件)：
2G060AA02
, 2G060AB03
, 2G060AB08
, 2G060AB17
, 2G060AB18
, 2G060AE19
, 2G060AF02
, 2G060AF07
, 2G060AG06
, 2G060AG10
, 2G060BA03
, 2G060BB02
, 2G060BB15
, 2G060HA01
, 2G060HB05
, 2G060HB06
, 2G060HC02
, 2G060HE10
, 2G060JA01
, 2G060KA01
